Սիլիցիումի փոշու մշակումը վերաբերում է սիլիցիումային բլոկի (25-80 մմ) մանրացման գործընթացին, որը հալվում է հատուկ գործընթացով՝ որոշակի մասնիկի չափի (սովորաբար 80-400 մկմ) ստանալու համար: Սիլիցիումային ծխի գործընթացների շրջանակը: Ներկայումս սիլիցիումի փոշու գործարանում սիլիցիումի փոշու մշակման սարքավորումները հիմնականում ներառում են սիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց և պտտվող սիլիկոնային աղաց։ Այս հոդվածը ներկայացնում է համեմատությունը սիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց և պտտվող սիլիցիումային մանրացման գործարանում սիլիցիումային փոշու գործարանում։

1. Արտադրական հզորությունների համեմատությունսիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց և սիլիցիումի փոշու գործարանում պտտվող հարվածային սիլիցիումային մանրացման աղացը՝ 5 տ/ժսիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղացԸնկերության արտադրական հզորությունը կարող է գերազանցել նախագծային հզորությունը մոտ 5%-ով՝ նախագծված և կարգավորված արտադրական հզորության պայմաններում։ Հատկապես, երբ միջին մասնիկի չափը >130 մկմ է, արտադրական հզորությունը կարող է ավելի բարձր լինել։ φ880-ը, տեսականորեն, ունի 1.5 տ/ժ արտադրական հզորություն։ Սակայն, սիլիցիումային բլոկի առանձնահատկության պատճառով, կտրիչ գլխիկի մաշվածությունը, ծառայության ժամկետը և փոխանցման սարքավորումների այլ խափանումները կազդեն պտտվող սիլիցիումային մանրացման մեքենայի իրական արտադրական հզորության և գործարկման ժամանակի վրա։

2、Սիլիցիումի նուրբ փոշու պարունակության համեմատությունըսիլիցիումային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց և պտտվող հարվածային սիլիցիումային մանրացման ջրաղաց սիլիցիումի փոշու գործարանում. բնականոն շահագործման պայմաններումսիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց Համակարգում մանր սիլիցիումի փոշու պարունակությունը կարելի է վերահսկել մոտ 3%-ով։ Մանր սիլիցիումի փոշու համամասնությունը կարելի է վերահսկել 8%-ից ցածր՝ երկար արտադրության ժամանակի և հղկող գլանակի լուրջ մաշվածության պայմաններում (մանր փոշու բարձր կամ ցածր արագությունը ուղղակիորեն կապված է շահագործման վերահսկման հետ)։ Գործարանի հարվածային մանման φ-ի համաձայն՝ 600 մոդելի արտադրության տվյալները կազմում են 10%~15% 325 մեշ և ավելիի համար։ Նախկինում հասկացվում էր, որ այս արժեքը կարող է գերազանցվել պտտվող սիլիցիումային հղկող ֆրեզավորման իրական արտադրական գործընթացում։

3、Գործընթացի նախագծման համեմատությունսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղացև սիլիցիումի փոշու գործարանի սարքավորումների պտտվող սիլիցիումային մանրացման և ֆրեզերային համակարգ. սիլիցիումի փոշու արտադրության համակարգըսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց ընդունում է բացասական ճնշման արտադրություն, օդի ծավալը վերամշակվում է, շարունակականությունը լավ է, և համակարգի դիզայնը ողջամիտ է: Գրեթե 10 տարվա իրական օգտագործման ընթացքում տեղական արտադրողները անընդհատ կատարելագործել են համակարգի սիլիցիումային փոշու մշակման տեխնոլոգիան, ինչը բարելավել է համակարգի աշխատանքը և ավտոմատացումը:ուղղահայաց գլանային ջրաղաց, և կարգավորելիությունը դարձրեց ավելի պարզ և հուսալի: Քանի որ պտտվող սիլիցիումային մանրացման աղացի սիլիցիումային փոշու մշակման համակարգը տեղափոխվում է դրական ճնշման տակ, համակարգի կնքումը լավը չէ, սիլիցիումային փոշու արտահոսքը մեծ է, և անընդհատությունը՝ վատ, ուստի այն պետք է բարելավվի: Բացի այդ, ընդհանուր դիզայնը համեմատաբար փոքր է, վատ բուֆերային տարողությամբ, որը չի կարող բավարարել սիլիցիումային փոշու մեծածավալ արտադրության պահանջները: Պտտվող սիլիցիումային մանրացման աղացման համար սիլիցիումային փոշու մշակման համակարգի ընդհանուր դիզայնը համեմատաբար պարզ և կոպիտ է, և փոշու հեռացման որոշ միջոցառումներ կատարյալ չեն, որոնք կարող են օգտագործվել միայն որոշ համեմատաբար փոքր սիլիցիումային փոշու վերամշակման ձեռնարկությունների կողմից:

4、Անվտանգության և շրջակա միջավայրի պաշտպանության ցուցանիշների համեմատությունսիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղացև պտտվող սիլիցիումային մանրացման գործարանում սիլիցիումային փոշու գործարանում. սիլիցիումային փոշու մշակման համակարգի ընդհանուր նախագծումըսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղացհամեմատաբար ողջամիտ է, և կիրառվում է սիլիցիումի փոշու մասնիկների չափի օդային բաժանման տեխնոլոգիա: Սիլիցիումի փոշու օդային բաժանման գործընթացում ուղղահայաց գլանաձև ջրաղացի, ցիկլոնային բաժանիչի, պարկային ֆիլտրի և այլնի ելքային խողովակաշարը գործում է բացասական ճնշման տակ, ուստի սիլիցիումի փոշու արտահոսքի արագությունը շատ փոքր է, իսկ սիլիցիումի փոշու մշակման սարքի գործարանում փոշու կոնցենտրացիան շատ ցածր է: Սիլիցիումի փոշու թռչելու երևույթ չկա, ինչը հիմնարար կերպով բացառում է սիլիցիումի փոշու տարածքում փոշու պայթյունի հնարավորությունը: Քամու բաժանման տեխնոլոգիայի կիրառման շնորհիվ սիլիցիումի ծխի արտադրության համակարգում նուրբ սիլիցիումի ծխի (աէրոզոլի) պարունակությունը կարող է զգալիորեն նվազել, և միևնույն ժամանակ, այն կարող է կանխել սիլիցիումի ծխի փոշու տեղային նստվածքների առաջացումը սարքավորումներում և վերացնել սիլիցիումի ծխի մշակման համակարգում փոշու պայթյունի հնարավորությունը: Սիլիցիումի ուղղահայաց գլանաձև ջրաղացի համակարգի օդային բաժանման համակարգը շրջանառող շղթա է: Պարկային տեսակի փոշեհեռացնողի իմպուլսային հետադարձ փչվող ազոտը օգտագործվում է մանրացման խողովակաշար ազոտը լրացնելու համար: Մանրացման համակարգը կարող է իրականացնել ազոտի պաշտպանության գործողություն՝ ազոտի փոքր սպառմամբ: Սիլիցիումի փոշու արտադրության համակարգի փոքր և համեմատաբար պարզ կառուցվածքի պատճառով, օդային բաժանումը չի օգտագործվում, ինչը հանգեցնում է սիլիցիումի փոշու լուրջ արտահոսքի: Սիլիցիումի գոլորշու արտադրության վայրում փոշու կոնցենտրացիան համեմատաբար բարձր է, ինչը հեշտությամբ կարող է առաջացնել թոքաբորբ աշխատակիցների շրջանում: Քանի որ պտտվող հարվածային սիլիցիումի մանրացման գործարանի սիլիցիումի փոշու արտադրության համակարգում չի կարող ձևավորվել փակ ազոտի կնքման համակարգ, դա հեշտ է հանգեցնել համակարգում սիլիցիումի փոշու կուտակմանը, ինչը բարձրացնում է սիլիցիումի փոշու (աէրոզոլի) պարունակությունը պտտվող հարվածային սիլիցիումի մանրացման գործարանում կամ այլ վայրերում, և սիլիցիումի փոշու պայթյունը շատ հեշտ է տեղի ունենալ, երբ բռնկման աղբյուրի էներգիան բարձր է:

5、Էներգիայի սպառման և պահեստամասերի սպառման համեմատությունըսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց և պտտվող սիլիցիումային մանրացման ջրաղաց սիլիցիումի փոշու գործարանում.սիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց (հաշվարկված 1.5 վտ/տարի հաշվով): արդյունաբերական հզորություն՝ 80 կՎտ.ժ/տ, արդյունաբերական ջուր՝ 0.2 մ/տ, ազոտ՝ 9.0 Նմ3-23.0 Նմ/տ, պահեստամասերի արժեքը՝ մոտ 800000 յուան, պահեստամասերի միջին արժեքը մեկ տոննայի համար՝ 50-60 յուան/տ: պտտվող հարվածային սիլիկոնային աղաց:（φ660): Արդյունաբերական հզորությունը գնահատվում է 75~100 կՎտ.ժ/տ, շրջանառվող ջուրը՝ մոտ 4 մ³/տ, ազոտը՝ մոտ 126 Նմ/տ, իսկ կտրող գլխիկի ընդհանուր սպառումը մոտ 70 տ/տարի է։

6、Պահպանման համեմատություն սիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց և սիլիցիումի փոշու գործարանում պտտվող հարվածային սիլիցիումային մանրացման գործարանը՝ սիլիկոնային ուղղահայաց գլանային ջրաղաց Սովորաբար այն վերանորոգվում է ամսական մեկ անգամ՝ 2 աշխատանքային օրվա ընթացքում, ընդհանուր առմամբ՝ 8-12 վերանորոգման օր։ Կտրող գլխիկի և ծածկույթի թիթեղի փոխարինման ցիկլը պտտվող սիլիկոնային հղկող ֆրեզով <24 ժամ է։ Երբ կտրող գլխիկի և ծածկույթի թիթեղի որակը վատ է, այն կարող է օգտագործվել միայն 3 ժամ~4 ժամ և անհրաժեշտ է փոխարինել մեկ անգամ։ Հաշվարկվում է, որ յուրաքանչյուր վերանորոգման համար անհրաժեշտ է 0.5 աշխատանքային օր, իսկ վերանորոգման ընդհանուր աշխատանքային օրը կազմում է մոտ 2 աշխատանքային օր, ինչը ոչ միայն մեծացնում է աշխատանքի արժեքը, այլև հետաձգում է արտադրության առաջընթացը։

Եզրակացություն. Սիլիցիումային ուղղահայաց գլանային աղաց համակարգի և պտտվող հարվածային սիլիցիումային մանրացման աղաց համակարգի ուսումնասիրության և համեմատական ​​վերլուծության, ինչպես նաև օրգանական (պոլիկրիստալային) սիլիցիումի արդյունաբերության տեխնիկների հետ հաղորդակցության միջոցով, ընդհանուր կարծիքն այն է, որ պտտվող հարվածային սիլիցիումային մանրացման աղացը հարմար չէ սիլիցիումի փոշու մեծածավալ մշակման համար: Բացի այդ, չինական օրգանական (պոլիկրիստալային) սիլիցիումի արտադրողների կողմից աղացների ընտրության համաձայն, չնայած հիմնական ներդրումը...սիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց կարող է ավելի բարձր լինել, քան պտտվող սիլիկոնային աղացը,սիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց դեռևս իդեալական ընտրություն են տեղական օրգանական սիլիցիումի (պոլիկրիստալային) արտադրողների մեծ մասի համար սիլիցիումի փոշի մշակելու համար: HCMilling-ը (Գուիլին Հոնգչենգ) արտադրողն էսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց սիլիցիումի փոշու գործարանի սարքավորումների համար: ՄերHLM սիլիկոնուղղահայաց գլանային ջրաղաց լայնորեն օգտագործվել և ճանաչվել է սիլիցիումի փոշու գործարանի արդյունաբերության մեջ: Եթե անհրաժեշտ է գնելսիլիցիումուղղահայաց գլանային ջրաղաց Սիլիկոնային փոշու գործարանի սարքավորումների համար, խնդրում ենք կապվել HCM-ի հետ՝ սարքավորումների մանրամասները ստանալու համար։